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產(chǎn)品信息

  特　點

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（專利 第4834847號）

● 使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設(shè)備。

● 實時測量膜厚

● 可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點測量

● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源

  測量項目

● 多層膜厚解析

  用　途

● 光學(xué)薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）

● FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）